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一種真空鍍膜裝置鎖定機構的制作方法技術資料下載

技術編號:40560735

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本技術涉及真空鍍膜機,尤其涉及一種真空鍍膜裝置鎖定機構。背景技術、真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發(fā),電子槍加熱蒸發(fā),磁控濺射,mbe分子束外延,pld激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。、如專利公告號為cnu,一種真空鍍膜機的鎖定結構,包括分別固定在外界真空鍍膜機的設備主體以及密封門側面的固定架以及安裝板,安裝板的一端延伸至密封門的外側并固定有限位桿。本實用新型中通過電推桿輸出端向上移動距離...
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該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。

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