技術編號：40550378
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及聚合物光波導和二氧化硅波導混合集成光子芯片制備，具體涉及一種聚合物二氧化硅同平面異質波導調制臂的馬赫-曾德爾(mach-zenhder，m-z)混合集成光波導溫度傳感器。背景技術、多材料混合集成光子芯片是光子芯片領域的重要分支，混合集成光子芯片利用不同性質的波導材料在片上進行集成，以提高光子芯片功能、性能為目的。二氧化硅芯片是重要的無源光子芯片材料，具有低損耗、穩(wěn)定性高的特點，已經被應用于耦合器、分束器、awg等商用芯片。聚合物材料是光波導器件的重要材料，特別是其高熱光系數、高生物兼...
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