技術(shù)編號(hào):40540984
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及光罩版盒,尤其涉及一種便于機(jī)械開(kāi)合的光罩版盒。背景技術(shù)、光刻工藝作為半導(dǎo)體工藝中的一個(gè)重要工藝,其以具有特定圖案的光刻膠層作為掩膜,對(duì)晶圓進(jìn)行光刻獲得特定的精細(xì)結(jié)構(gòu),以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造,光刻工藝精度要求高,因此光罩版一般存放在光罩版盒中,避免光罩版接觸到臟污,在需要使用時(shí),再打開(kāi)光罩版盒取出光罩版。、例如中國(guó)專利號(hào)為cnu的一種便于機(jī)械開(kāi)合的光罩版盒,該實(shí)用新型中在盒蓋的側(cè)壁外設(shè)置有彈簧卡扣,在盒襯側(cè)邊的外延板上開(kāi)設(shè)有卡口,在盒蓋蓋設(shè)于盒襯上時(shí),彈簧卡扣可翻轉(zhuǎn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。