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一種高集成度半導體封裝結構及其制造方法與流程技術資料下載

技術編號:40533300

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本發(fā)明涉及半導體,特別涉及一種高集成度半導體封裝結構及其制造方法。背景技術、人工智能和高性能計算等應用對帶寬、存儲、大功耗散熱、大電源和電容去耦需求日益增長,當前常采用基于轉接板的.d封裝進行高性能芯片和hbm(h?i?gh?bandwi?dthmemory,高帶寬內存)集成,但隨著集成hbm數量增加和芯片性能逐漸提升,高性能芯片和hbm集成將受到轉接板面積限制、dd(d?i?e?to?d?i?e,芯片與芯片)高速互連限制、電源限制和散熱能力限制。其中高性能芯片常采用在大功耗as?i?c...
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