技術編號：40531008
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及儀器儀表設計領域，具體的為一種用于光學輪廓儀的測量誤差靈敏度分析方法。背景技術、得益于測量精度高、適用范圍廣等特點，光學輪廓儀被廣泛應用于光學、航空航天、汽車、半導體等領域；影響輪廓儀測量精度的因素有很多，主要包括幾何誤差、傳感器誤差、控制誤差等；其中，幾何誤差使光學傳感器實際空間位置發(fā)生偏移，產(chǎn)生空間位置誤差，進而影響輪廓儀測量精度；隨著精度要求的不斷提高，通過提高部件制造精度以提升測量精度的方式的會導致成本大幅增加；在這種情況下，采用誤差補償提高測量精度的方式是一種更為經(jīng)濟的方法...
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