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立方氮化硼薄膜結構、切削工具及其制造方法與設備與流程技術資料下載

技術編號:40519264

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本申請涉及薄膜加工領域,特別是涉及薄膜結構、立方氮化硼薄膜結構、切削工具及其制造方法與設備。背景技術、切削加工的工具,例如刀具,其表面通常需要沉積硬質薄膜。薄膜能否應用于切削加工,關鍵在于薄膜與切削工具基材的結合是否牢固。結合不牢固的薄膜沒有實用價值。切削工具的基材絕大部分為高速鋼和硬質合金。如果直接沉積納米多晶鉆石(ncd),納米多晶鉆石的碳原子和高速鋼的鐵原子,或者硬質合金里的鈷原子,在高溫下兩種元素產生化學反應,分解鉆石的結構,最終導致納米多晶鉆石薄膜失效。、傳統(tǒng)做法是先用化學藥液把工...
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