技術(shù)編號：40517719
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于傳感器，尤其涉及一種陣列式mems陀螺儀高精度數(shù)據(jù)融合方法。背景技術(shù)、微機(jī)械陀螺儀(mems陀螺儀)是一種高技術(shù)產(chǎn)品，是當(dāng)代微機(jī)械電子系統(tǒng)(mems)領(lǐng)域特別重要的分支之一，它基于微機(jī)械加工制造技術(shù)生產(chǎn)的，其工作原理是借助科氏力效應(yīng)，將外部旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為陀螺儀內(nèi)部極板的相對位移。相較于機(jī)械陀螺儀及光學(xué)陀螺儀，mems陀螺儀包含以下突出特點(diǎn)：()體積小，質(zhì)量輕。mems技術(shù)是對微米/納米材料進(jìn)行規(guī)劃、制造、完善、測量與支配的高新技術(shù)領(lǐng)域，故mems陀螺儀體積可達(dá)到微米/納米數(shù)量級，方...
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