技術編號：40505392
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及光柵干涉式加速度傳感器，具體是一種基于準bic超表面的高分辨率加速度傳感器及測量方法。背景技術、光柵干涉式加速度傳感器因其具有抗干擾能力強的優(yōu)點，而被廣泛應用于加速度信號的測量。然而在實際應用中，現(xiàn)有光柵干涉式加速度傳感器由于自身結(jié)構(gòu)所限，存在如下問題：其一，現(xiàn)有光柵干涉式加速度傳感器的敏感單元的q值較低、輸出光譜的線寬較寬，導致其無法實現(xiàn)微弱加速度信號的準確測量，由此導致其分辨率較低。其二，現(xiàn)有光柵干涉式加速度傳感器的敏感單元含有金屬材料，導致其歐姆損耗較大。準bic（bound?...
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