技術(shù)編號：40463534
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及太赫茲探測，尤其涉及一種高靈敏度高穩(wěn)定性的超導(dǎo)動態(tài)電感探測器及制備方法。背景技術(shù)、太赫茲波是指頻率在.thz～thz之間的電磁波，其介于微波與紅外波段之間。目前常見的超導(dǎo)太赫茲直接探測器主要有超導(dǎo)轉(zhuǎn)換邊緣傳感器、超導(dǎo)量子電容探測器以及超導(dǎo)動態(tài)電感探測器。超導(dǎo)動態(tài)電感探測器因為其極高的靈敏度、頻分復(fù)用讀出方式易于陣列拓展等優(yōu)點，在太赫茲探測、天文探測、量子傳感等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。、超導(dǎo)動態(tài)電感探測器主要包括微波傳輸線和超導(dǎo)微波諧振器兩部分。微波諧振器包括一個叉指電容和一...
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