技術(shù)編號：40462928
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及晶圓制造，尤其是一種晶圓字符ocr識別設(shè)備。背景技術(shù)、在晶圓生產(chǎn)階段，需要讀取其上的ocr字符以知曉每塊晶圓上的字符編號，便于后續(xù)進(jìn)行追溯。以往，流程通常為人工輸入ocr字符，存在有速度慢、效率低以及出錯率高等缺點。鑒于此，各大設(shè)備廠商研發(fā)出了一系列晶圓字符ocr識別設(shè)備。、以本公司前些年開發(fā)的初代晶圓字符ocr識別設(shè)備為例，其主要由包括機架、晶圓承載臺、ocr識別單元以及動力部等幾部分構(gòu)成。其中，晶圓承載臺由機架進(jìn)行承載，且保持于固定位置，其用來承接經(jīng)由機械手轉(zhuǎn)移而來的晶圓。oc...
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