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基于顯微熱成像技術(shù)的熱線式MEMS傳感器測(cè)試裝置及其測(cè)量方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40434403

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本發(fā)明涉及傳感器測(cè)量評(píng)估,具體領(lǐng)域?yàn)橐环N基于顯微熱成像技術(shù)的熱線式mems傳感器測(cè)試裝置及其測(cè)量方法。背景技術(shù)、矢量傳感器能同時(shí)掌握聲場(chǎng)的標(biāo)量和矢量信息,其在捕捉目標(biāo)方向和軌跡信息等方面具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì),尤其適合在低海洋背景噪聲環(huán)境下工作,對(duì)于探測(cè)潛艇和無(wú)人平臺(tái)等低可覺察度目標(biāo)領(lǐng)域具有重要意義?;谖C(jī)電系統(tǒng)(mems)的熱線式矢量傳感器在低頻探測(cè)方面的表現(xiàn)優(yōu)于其它類型的矢量傳感器,可實(shí)現(xiàn)最低hz的測(cè)試頻率。然而,國(guó)內(nèi)mems熱線式傳感器的實(shí)際工程應(yīng)用與理論研究之間仍然存在顯著差距,特別是在極低...
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