技術編號：3821624
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及聲表面波氣體傳感器，特別涉及一種采用滴涂法制作氧化鋅(ZnO)摻雜酞菁靶(PbPc)敏感膜的方法。背景技術從80年代開始，聲表面波傳感器(SAW)的研制工作逐漸興起，目前可以檢測H2S、NO2, SO2和NH3等多種氣體，運用聲表面波技術研制成的傳感器可以直接輸出數字信號，因而具有得天獨厚的優(yōu)越性。SAW氣體傳感器與其他類型的傳感器相比有很多優(yōu)良的特性，具有體積小、重量輕、精度高、分辨率高、抗干擾能力強、靈敏度高、有效檢測范圍線性好等眾多特點。S...
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