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分離式點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3787995

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本發(fā)明適用于半導(dǎo)體固晶。本發(fā)明公開一種分離式點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)包括Z向運(yùn)動(dòng)模組、與該Z向運(yùn)動(dòng)模組固定的Theta運(yùn)動(dòng)模組和分別與Z向運(yùn)動(dòng)模組固定和Theta運(yùn)動(dòng)模組連接的點(diǎn)膠擺臂模組,以及協(xié)調(diào)Z向運(yùn)動(dòng)模組、Theta運(yùn)動(dòng)模組和點(diǎn)膠擺臂模組工作的控制模塊。工作時(shí),在控制模塊的協(xié)調(diào)控制下,所述Theta運(yùn)動(dòng)模組對(duì)點(diǎn)膠擺臂模組中的擺臂在水平面轉(zhuǎn)動(dòng)的角度進(jìn)行調(diào)整,同時(shí)所述Z向運(yùn)動(dòng)模組對(duì)點(diǎn)膠擺臂模組中的擺臂上下位置進(jìn)行調(diào)整,通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)可以使所述擺臂移動(dòng)至適當(dāng)位置對(duì)鍵合的晶...
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