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一種化學(xué)機(jī)械拋光液的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3776400

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本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光液。 背景技術(shù)在130nm以下的半導(dǎo)體工藝制程中,金屬銅已被廣泛用作互連線路材料。Cu互連 線路的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是現(xiàn)今全面平坦化工藝中廣泛應(yīng)用的技術(shù)。不同的制程對(duì)銅的 拋光速率有著不同的技術(shù)要求。采用工藝條件的優(yōu)化來(lái)調(diào)節(jié)銅的去除速率是業(yè)界常用的方 法。已有很多文獻(xiàn)報(bào)道不同的拋光液配方,以達(dá)到不同的選擇比來(lái)調(diào)節(jié)Cu的表面形貌和去 除速率。在Cu的化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中,分兩個(gè)階段快速去除階段和軟著陸階段(如圖1 所示)??焖偃コ?..
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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