技術(shù)編號(hào)：3774411
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于控制流體的微觀機(jī)械裝置。具體地，本發(fā)明涉及在微觀機(jī)械裝置和流體岐管基礎(chǔ)物之間建立一個(gè)清潔、耐腐蝕和氣密的連接的技術(shù)。背景技術(shù) 微觀機(jī)械裝置(也稱為微觀機(jī)電(MEM)裝置，微觀加工裝置和納米結(jié)構(gòu))是使用半導(dǎo)體加工技術(shù)構(gòu)成的微米級(jí)的三維物體。在此使用的術(shù)語“微觀機(jī)械裝置”指至少部分依靠半導(dǎo)體加工技術(shù)構(gòu)成的任何三維物體。微觀機(jī)械裝置被用作流體控制裝置。在此使用的術(shù)語“流體”涉及氣體或液體。精確的流體控制在從藥品輸送到半導(dǎo)體加工設(shè)備的許多應(yīng)用范圍內(nèi)都...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。