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半導(dǎo)體裝置的制造方法及半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3767207

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置的制造方法及半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 近年來,隨著電子機(jī)器的高性能化等,對于半導(dǎo)體裝置的高密度化、高集成化的要求變高,從而不斷推進(jìn)半導(dǎo)體裝置(以下,也稱為“半導(dǎo)體封裝件”或“封裝件”)的大容量高密度化。為了對應(yīng)這樣的要求,采用例如在半導(dǎo)體元件(以下,也稱為“半導(dǎo)體芯片”或 “芯片”)上粘接引線框架的芯片上引線(LOC)結(jié)構(gòu)。LOC結(jié)構(gòu)中,由于是接合半導(dǎo)體元件和引線框架,所以其接合部的粘接可靠性對半導(dǎo)體裝置的可靠性有很大影響。以往,在半導(dǎo)體...
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