技術(shù)編號：3751561
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于對基體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布的裝置、應(yīng)用和方法。背景技術(shù)由現(xiàn)有技術(shù)已知多種不同的用于對基體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布的裝置。特別是在半導(dǎo)體技術(shù)中已知用于向基體上施加光感漆(Fotolack)的旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)或旋涂機(jī)。這種旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)或旋涂機(jī)也稱為“涂層機(jī)(Coater) ”。晶片或玻璃片或類似部件用作基體。對于這種情況特別可以參考EP I 743 220A1。在現(xiàn)有技術(shù)中記載的用于對基體進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布的裝置描述了ー種旋涂機(jī)，所述旋涂機(jī)具有可旋轉(zhuǎn)的基體盤，用于水平地放置基...
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