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抗靜電樹脂制成的容器以及用于其生產(chǎn)的配套器件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3690296

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和相關(guān)技術(shù)本發(fā)明涉及一種抗靜電樹脂制成的容器,其適合容納以非常少的量生產(chǎn)但卻需要高水平抗靜電性的精密產(chǎn)品或其半成品,例如光掩膜(包括分度線(reticle))和用作此光掩膜的保護(hù)膜的薄膜,半導(dǎo)體晶片的相關(guān)試產(chǎn)品,液晶顯示器(LCD)的相關(guān)試產(chǎn)品,IC產(chǎn)品的相關(guān)試產(chǎn)品等,本發(fā)明也涉及用于生產(chǎn)這種抗靜電樹脂制成的容器的配套器件。諸如上述光掩膜之類的精密產(chǎn)品非常不喜歡微小顆粒的靜電吸引力,其運(yùn)輸或儲(chǔ)存是通過(guò)使用抗靜電樹脂制成的容器完成的。為了提供這樣一種抗靜電樹...
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