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光活性化合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3506520

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本申請(qǐng)是中國(guó)專利申請(qǐng)2006800^913. 3的分案申請(qǐng)。本發(fā)明涉及新的光活性化合物,其在縮微平版印刷術(shù)領(lǐng)域用于光刻組合物,尤其用于半導(dǎo)體元件生產(chǎn)中的陰性成像和陽(yáng)性圖像,以及用于光刻膠成像中的光刻膠組合物和工藝。背景技術(shù)光刻膠組合物用于制造小型化電子元件的縮微平版印刷工藝,例如用于制造電腦芯片和集成電路。通常,在這些工藝中,首先將光刻膠組合物的薄膜涂層施加于基底材料上,例如用來(lái)制作集成電路的硅片。然后將涂覆的基底烘烤,蒸發(fā)光刻膠組合物中的任何溶劑,并將涂...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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