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碳化硅冶煉溫度測(cè)控技術(shù)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3455998

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本發(fā)明涉及碳化硅冶煉,特別涉及一種碳化硅冶煉溫度測(cè)定及控制技術(shù)。本發(fā)明的目的按下述方案實(shí)現(xiàn)碳化硅冶煉溫度測(cè)定及控制技術(shù),在碳化硅爐石墨電極靠近爐芯的位置裝有測(cè)溫探頭,來自測(cè)溫探頭的溫度數(shù)據(jù)與設(shè)定的溫度范圍進(jìn)行比較,根據(jù)比較數(shù)據(jù)調(diào)整整整流變輸出電流,從而控制冶煉溫度在±100℃內(nèi);上述測(cè)溫探頭是耐溫在1000-1800℃的熱電偶。本發(fā)明將耐溫低于1800℃的感溫元件置于靠近爐芯的石墨電極之內(nèi),該區(qū)域內(nèi)的溫度不超過1800℃。因?yàn)槭姌O的傳熱系數(shù)在一定溫度范...
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