技術(shù)編號:3455718
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種CVD生長的石墨烯的快速轉(zhuǎn)移裝置和方法,具體步驟如下1)去除化學(xué)氣相沉積法在相應(yīng)襯底上背面生長的石墨烯;2)將目標(biāo)襯底與步驟1)中得到的單面石墨烯/生長襯底樣品同一端固定在底部鏤空的容器壁上,其中目標(biāo)襯底平行于刻蝕液液面,生長襯底/單面石墨烯樣品以一定角度插入液面以下;3)步驟2)中浸在液面下的生長襯底部分首先被刻蝕,調(diào)節(jié)鏤空容器中液面位置,使石墨烯與目標(biāo)襯底接觸貼合,即先完成轉(zhuǎn)移。4)然后繼續(xù)調(diào)節(jié)刻蝕液液面位置,重復(fù)步驟3)中刻蝕,轉(zhuǎn)移操作...
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