技術(shù)編號：3454645
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種，包括將四氯化硅和二氯二氫硅分別從四氯化硅入口和二氯二氫硅入口供給至精餾塔本體內(nèi)；使精餾塔本體內(nèi)的四氯化硅經(jīng)過再沸器加熱后轉(zhuǎn)化成四氯化硅蒸汽進(jìn)入反應(yīng)區(qū)；使四氯化硅蒸汽與二氯二氫硅在反應(yīng)區(qū)內(nèi)發(fā)生反歧化反應(yīng)，以便得到含有三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅的混合物；將含有三氯氫硅、二氯二氫硅和四氯化硅的混合物在精餾區(qū)內(nèi)進(jìn)行精餾處理，以便分離得到氣態(tài)三氯氫硅；以及將氣態(tài)三氯氫硅在冷凝器中進(jìn)行冷凝處理，以便得到液態(tài)三氯氫硅，并將液態(tài)三氯氫硅的一部分返回至...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。