技術(shù)編號：3449067
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及多晶硅還原爐，具體涉及一種多晶硅行業(yè)大型還原爐底盤的冷卻及其加強結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)改良西門子法生產(chǎn)多晶硅，其方法主要是利用氫氣還原三氯氫硅，從而生成多晶硅，這個氫還原設(shè)備就是我們所說的還原爐。目前國際多晶硅價格已滑落至20$/kg，各生產(chǎn)企業(yè)的成本壓力越來越大，為了降低還原電耗，所以目前還原爐也越來越大型化，36對棒還原爐已成為目前國內(nèi)市場的主流。目前多晶硅行業(yè)大型還原爐大多采用上下兩塊面板(如圖4)，由于底盤直徑較大，且冷卻腔深度較深，冷卻水經(jīng)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。