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技術(shù)編號：3441195

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本發(fā)明涉及一種通過采用各種含氟物質(zhì)、無定形二氧化硅(SiO2)以及硫酸 (H2SO4)連續(xù)生產(chǎn)四氟硅烷(SiF4)的方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種通過在單個反應(yīng)器中使(i)能夠與硫酸反應(yīng)產(chǎn)生氟化氫(HF)的氟化物源物質(zhì)、(ii)無定形二氧化硅以及(iii) 硫酸進(jìn)行反應(yīng)；并且隨后將得到的氣態(tài)產(chǎn)物通過H2SO4洗滌器以生產(chǎn)四氟硅烷的方法。根據(jù)本發(fā)明，四氟硅烷的產(chǎn)率能夠提高并且能夠通過采用除氟化氫以外的各種含氟物質(zhì)以環(huán)境友好的方式低成本連續(xù)生產(chǎn)。此外，由于將反...
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