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技術(shù)編號(hào)：3439764

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本發(fā)明是有關(guān)于一種純化硅原料的制造方法，特別是一種以超重力旋轉(zhuǎn)填充床純化三氯硅烷或三氯硅烷與四氯化硅的混合物的制造方法。背景技術(shù)電子級(jí)多晶硅(Electronic grade polysilicon，EGS)可從除去不純物如硼及磷的三氯硅烷或三氯硅烷與四氯化硅的混合物而獲得。大多數(shù)不純物可用分餾法立即除去。 硼及磷等微量不純物通常以BCl3, PCl3, IH6或PH3的形式存在，但以分餾減少這些污染至可接受的低水平需幾道連續(xù)分餾步驟。主要原因是不純物氣體...
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