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多晶硅還原爐高壓?jiǎn)?dòng)絕緣電極的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3437428

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本發(fā)明涉及絕緣電極,確切地說(shuō)是多晶硅還原爐高壓?jiǎn)?dòng)絕緣電極。 背景技術(shù)目前,國(guó)內(nèi)外多晶硅還原爐硅芯擊穿啟動(dòng),主要依靠電輻射加熱器加 熱來(lái)降低硅芯電阻率后滿足低電壓?jiǎn)?dòng)要求;使得啟動(dòng)過(guò)程時(shí)間較長(zhǎng),很 大程度上影響了生產(chǎn)效率,由此采用高壓?jiǎn)?dòng)方式加快啟動(dòng)時(shí)間成為新工 藝的重點(diǎn)所向,用高電壓產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)在很短時(shí)間就能改變硅芯導(dǎo)電特性, 使其內(nèi)阻降低、導(dǎo)通電流迅速上升,從而使硅料內(nèi)部的溫度很快上升,大 大縮短了啟動(dòng)時(shí)間,提高了加工效率,從而降低能耗和提高產(chǎn)品質(zhì)量。由...
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