技術(shù)編號(hào):3437428
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及絕緣電極,確切地說(shuō)是多晶硅還原爐高壓?jiǎn)?dòng)絕緣電極。 背景技術(shù)目前,國(guó)內(nèi)外多晶硅還原爐硅芯擊穿啟動(dòng),主要依靠電輻射加熱器加 熱來(lái)降低硅芯電阻率后滿足低電壓?jiǎn)?dòng)要求;使得啟動(dòng)過(guò)程時(shí)間較長(zhǎng),很 大程度上影響了生產(chǎn)效率,由此采用高壓?jiǎn)?dòng)方式加快啟動(dòng)時(shí)間成為新工 藝的重點(diǎn)所向,用高電壓產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)在很短時(shí)間就能改變硅芯導(dǎo)電特性, 使其內(nèi)阻降低、導(dǎo)通電流迅速上升,從而使硅料內(nèi)部的溫度很快上升,大 大縮短了啟動(dòng)時(shí)間,提高了加工效率,從而降低能耗和提高產(chǎn)品質(zhì)量。由...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。