技術編號：3428988
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種銅賊射靶材料和賊射法。特別是，本發(fā)明涉及一種可以減 少已成膜的銅膜中的拉伸應力的銅賊射把材料和賊射法。 背景技術以往在形成具有液晶面板的電子裝置中的配線等的金屬薄膜時，應用使用 由規(guī)定材料構成賊射靶的賊射法。作為以往的賊射耙，在由面心立方結構的金屬或合金構成的濺射靶中，已知有((111 )面+ (200)面)/ (220)面算出的 面取向度為2.20以上的濺射靶材料(例如，參照專利文獻1 )。專利文獻1中記載的濺射靶材料，通過在濺射面中優(yōu)先的...
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