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技術(shù)編號(hào)：3426768

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本發(fā)明涉及一種。背景技術(shù)化學(xué)氣相沉積是一種先進(jìn)的薄膜制備技術(shù)，可制備包括陶瓷、難熔金屬等在內(nèi)的結(jié)構(gòu)或功能薄膜，在冶金、機(jī)械、航空航天、核、能源等領(lǐng)域有著廣泛地應(yīng)用?；瘜W(xué)氣相沉積是通過沉積物的氣相前驅(qū)體的化學(xué)反應(yīng)生成，因?yàn)橛袣庀噙B續(xù)供給，所以一般選擇直筒式反應(yīng)器，需要沉積工件放置在反應(yīng)器高溫處，反應(yīng)氣體從工件一端對(duì)應(yīng)的反應(yīng)器進(jìn)氣口進(jìn)入，在高溫區(qū)反應(yīng)生成固相產(chǎn)物和氣相尾氣，固相產(chǎn)物沉積在工件表面，氣相尾氣從工件另一端對(duì)應(yīng)的反應(yīng)器排氣口排出。一般的化學(xué)氣相沉積技...
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