技術(shù)編號：3413829
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明與鍍膜有關(guān)，涉及薄膜厚度監(jiān)控方法，特別是一種用于計算機控制鍍膜裝置進行鍍膜的。背景技術(shù)薄膜的厚度決定性地影響薄膜的光學性能。實現(xiàn)薄膜厚度的精確控制是制備高性能光學薄膜的關(guān)鍵因素。薄膜厚度控制的方法通常包括光學監(jiān)控法和石英晶體振蕩法。光學監(jiān)控法直接監(jiān)控膜層的光學厚度，它利用薄膜的透射率(或反射率)隨著薄膜厚度的變化而變化這一原理來實現(xiàn)薄膜厚度的監(jiān)控；光學監(jiān)控法中較常用的是光電極值法，光電極值法以膜系的中心波長作為監(jiān)控波長，將薄膜透射率(或反射率)的極值...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。