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技術(shù)編號：3411183

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摩擦學(xué)結(jié)合耐腐蝕性物理氣相沉積和等離子體輔助化學(xué)氣相沉積涂層新家族本發(fā)明涉及通過物理氣相沉積(PVD)和/或等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(PACVD) 形成的涂層，和現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)方案相比，具有良好的摩擦性能和改進(jìn)的耐腐蝕性。已知 PVD和PACVD涂層提供優(yōu)異的摩擦性能并被廣泛應(yīng)用于例如工具的耐磨損涂層。然而由于涂覆過程中幾乎不可能避免針孔，導(dǎo)致耐腐蝕性差。針孔或由薄膜形態(tài) (晶界等)產(chǎn)生或由薄膜生長(涂層沉積產(chǎn)生的缺陷)產(chǎn)生。因而對于許多涂層材料而言， 當(dāng)...
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