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技術(shù)編號：3410355

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本發(fā)明涉及一種背景技術(shù)在半導(dǎo)體分立器件(簡稱半導(dǎo)體器件)與半導(dǎo)體集成電路工業(yè)中，都會有因各種原因?qū)е缕骷Фa(chǎn)生的各種廢棄硅片，其中有一部分硅片表面已經(jīng)沉積有金屬鋁、銅、銀、鉑、金等，在將這部分廢棄硅片回收利用時，首先要將這些硅片表面的金屬去除干凈，否則，這些硅片在后道的加工過程中就會有金屬的沾污，嚴(yán)重影響硅片的質(zhì)量。另一方面，硅片表面的貴金屬銀、鉑、金資源十分珍貴，必須回收利用。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種。方法的步驟如下1)將半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體集成...
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