技術(shù)編號：3409944
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種研磨設(shè)備，具體的講是涉及一種用于研磨設(shè)備中的運動部件位置檢測系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導體制程工藝中，化學機械研磨工藝兼具有研磨性物質(zhì)的機械式研磨與酸堿溶液的化學式研磨兩種作用，可以使晶圓表面達到全面性的平坦化，以便進行薄膜沉積的工藝步驟。化學機械研磨要用到研磨設(shè)備，研磨設(shè)備中有很多運動部件，為了準確控制這些運動部件的移動位置，在研磨設(shè)備中安裝有運動部件位置檢測系統(tǒng)。其結(jié)構(gòu)包括位置傳感器，位置傳感器上設(shè)置有能穿過運動部件的開口。當運動部件穿過位置...
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