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技術(shù)編號(hào)：3405675

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本發(fā)明是用于以單個(gè)原子層精度化學(xué)氣相處理各種材料的多層薄膜 的裝置和方法的領(lǐng)域。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及以單個(gè)原子層精度在撓性 襯底(flexible substrate)上高速處理多層薄膜，以用于制造半導(dǎo)體器件、 大面積薄膜光伏太陽(yáng)能電池(photovoltaic solar cell )、撓性顯示器(flexible display)以及燃料電池用催化電極，或其他應(yīng)用。相關(guān)背景技術(shù)薄膜處理構(gòu)成了制造各種各樣的高級(jí)器件，例如微電子器件、光電子 器件和光子器...
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