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技術(shù)編號：3403336

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本發(fā)明涉及一種陰影掩膜真空沉積處理，并且尤其涉及一種用于陰影掩膜真空沉積系統(tǒng)的基片架系統(tǒng)。背景技術(shù) 薄膜顯示板例如液晶顯示器或者電發(fā)光顯示器被用來顯示信息。這類顯示器包括例如電極和接觸墊的薄膜器件，其按照某種方式被沉積在基片上來形成帶有獨立可加電像素的矩陣顯示板。在制造此類顯示板時遇到的挑戰(zhàn)是，在內(nèi)嵌沉積系統(tǒng)中時形成薄膜電極結(jié)構(gòu)圖案的改進處理的發(fā)展。此類顯示器的薄膜器件典型的是通過光刻蝕法或者陰影掩膜法形成的。光刻蝕法包括把光敏材料沉積在基片上、為該光敏材...
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