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技術(shù)編號：3402870

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本發(fā)明涉及進行真空電弧放電產(chǎn)生等離子體的等離子體發(fā)生裝置，更詳細(xì)地說涉及這樣的等離子體發(fā)生裝置，它在等離子體的起動、維持、停止的所謂順序操作長時期地反復(fù)進行時，于等離子體發(fā)射出的陰極面上將具有微細(xì)凹凸形狀的陰極面的凸部前端作為等離子體的發(fā)射點，當(dāng)上述凸部前端由于等離子體的發(fā)射而消耗后，則于繼后的等離子體起動時，將另一凸部前端作為新的等離子體的發(fā)射點，而能長期間歇式地發(fā)生等離子體。背景技術(shù) 一般，周知于等離子體中通過在固體材料的表面上形成薄膜或是注入離子而可...
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