技術(shù)編號(hào):3401601
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種快速通電加熱成膜處理裝置。背景技術(shù)對(duì)于MoSi2、SiC、Fe-Cr-Al合金及一些自保護(hù)型金屬間化合物而言,因?yàn)槟軌蛟诖髿猸h(huán)境在表面生成保護(hù)膜,所以一定厚度的完整的保護(hù)膜是實(shí)現(xiàn)其優(yōu)異的抗氧化性能的關(guān)鍵。而影響保護(hù)膜生成的因素除了材料本身以外,成膜工藝也對(duì)其有著重要的影響。為了保證工藝的可行和高的生產(chǎn)效率,必須采用具有良好可控性和穩(wěn)定性的成膜設(shè)備。但是,目前采用的成膜處理裝置普遍都存在有可控性差和工藝重現(xiàn)性低的問(wèn)題。提供一種快速通電加熱成...
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