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用等離子體cvd涂敷或處理襯底的方法及裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3390931

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本發(fā)明涉及涂敷襯底的方法,其中一種能沉積或涂層的反應(yīng)氣體流過待涂表面,該反應(yīng)氣體是由波導(dǎo)管中產(chǎn)生的微波激發(fā)的活化帶狀等離子體。本發(fā)明也涉及一種裝置,用該裝置可以實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之涂敷方法及用等離子體對(duì)襯底表面作表面處理。為了改善不同材料的表面可涂敷性,人們常利用由超高頻,高頻或低頻放電及直流放電產(chǎn)生的等離子體。用該技術(shù)清潔或腐蝕表面以提供可印涂的塑料表面,也就是說,借助液體改變表面的浸潤性,并使涂敷襯底具有硬的,抗劃傷的涂層,或者具有良好改善的光和電特性(干涉層...
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