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技術(shù)編號(hào)：3388175

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本發(fā)明涉及精密超精密加工領(lǐng)域，尤其是一種半固著磨粒磨具。技術(shù)背景磨粒加工是目前精密超精密加工的主要手段。磨粒加工又可大致 分為游離磨粒加工(包括研磨和拋光)和固著磨粒加工(如超精密磨 削)兩類。固著磨粒加工具有高材料去除效率的特點(diǎn)，其加工精度曰 益逼近游離磨粒加工，但要求使用價(jià)格高昂的高精度、高剛性設(shè)備， 且由于強(qiáng)制進(jìn)給引起的加工變質(zhì)層較深，嚴(yán)重影響了產(chǎn)品的使用性能 和壽命。所以，目前精密超精密加工仍以游離磨粒加工為主流。游離 磨粒加工對(duì)設(shè)備精度要求不高，...
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