技術編號：3387963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。生長金剛石膜的耐高溫金屬絲裝置本實用新型屬于金剛石材料制備，涉及化學氣相沉積法生產多晶金剛石膜的裝置，特別是ー種配置耐高溫金屬絲的裝置。背景技木采用化學氣相沉積法在異質基底上生長出多晶金剛石薄膜，不但成本低，而且可沉積面積大，因此采用化學氣相沉積法生產多晶金剛石膜得到迅速發(fā)展。采用化學氣相沉積法在高溫環(huán)境內制備多晶金剛石膜，需在真空環(huán)境內的電極上裝配數根耐高溫金屬絲，耐高溫金屬絲在電流作用下產生熱能，但是耐高溫金屬絲在高溫環(huán)境下工作易產生形變，使工作參數不...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。