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技術(shù)編號：3379025

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本實用新型涉及一種夾具，特別涉及一種用于對陶瓷基片進(jìn)行研磨時使用的夾具。背景技術(shù)現(xiàn)代微電子技術(shù)發(fā)展異常迅猛，特別是各種光電子器件逐漸在向微型化、大規(guī)模集成化、高效率、高可靠性等方向發(fā)展。但隨著電子系統(tǒng)集成度的提高，其功率密度隨之增加，電子元件及系統(tǒng)整體工作產(chǎn)生熱量上升、系統(tǒng)工作溫度升高會引起半導(dǎo)體器件性能惡化、器件破壞、分層等，甚至使封裝的芯片燒毀，因此有效的電子封裝必須解決電子系統(tǒng)的散熱問題。電子封裝所用的基片是一種底座電子元件，主要為電子元器件及其相互...
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