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技術(shù)編號(hào)：3371430

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本發(fā)明涉及電子玻璃精密加工領(lǐng)域中的化學(xué)機(jī)械拋光液，特別涉及一種電子玻璃全局平面化精密加工用的一種新型化學(xué)機(jī)械拋光液，即電子玻璃的納米SiO2磨料拋光液。背景技術(shù) 目前，隨著信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，鏡片、光學(xué)元件(透鏡、棱鏡)、彩電玻殼、平板顯示器用電子玻璃、磁盤玻璃基片都需要進(jìn)行全局平面化精密加工，因此電子玻璃拋光液的市場(chǎng)需求逐年增加。目前，國內(nèi)外普遍利用稀土氧化物(主要成分為CeO2)磨料的拋光液完成玻璃拋光加工。微米級(jí)乃至納米CeO2磨料的拋光液在拋光過程...
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