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銦錫氧化物靶材的制備方法技術資料下載

技術編號:3368815

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本發(fā)明涉及一種,尤其涉及一種用于液晶顯示的。背景技術 銦錫氧化物靶材又稱ITO靶材,用于濺射鍍膜,這種鍍膜具有對可見光透明、導電性良好的特點,主要應用于液晶顯示、電致彩色顯示等平面顯示件、太陽能電池以及汽車、飛機、火車防霧防霜擋風玻璃。美國專利US6080341報道了熱等靜壓法制備ITO粉末的過程及參數(shù)控制,介紹了用冷等靜壓和熱等靜壓法制備ITO靶材的過程,熱等靜壓工藝條件為高溫低壓工藝,能制備出相對密度為97%的ITO靶材,但上述工藝屬于火法制粉,熱等靜...
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