技術(shù)編號(hào)：3367904
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及研磨硅片的生產(chǎn)工藝，特別涉及一種采用循環(huán)再生砂研磨硅片的工 藝。背景技術(shù)眾所周知，半導(dǎo)體材料已成為微電子技術(shù)、微波電子技術(shù)、光電子技術(shù)、電力電子 技術(shù)、傳感技術(shù)等許多重大科技領(lǐng)域中最重要的主體功能材料，近幾年來(lái)，用戶對(duì)于硅材料 的需求日益增加，國(guó)家“十一五”規(guī)劃綱要中提出要“節(jié)能減排”，圍繞資源高效循環(huán)利用，積 極開(kāi)展替代技術(shù)、減量技術(shù)、再利用技術(shù)、資源化技術(shù)、系統(tǒng)化技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)研究，突破制 約循環(huán)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的技術(shù)瓶頸。而用于硅片加工生產(chǎn)的原輔料...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。