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技術(shù)編號：3366016

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本發(fā)明涉及超硬工具的微細(xì)精密制造，具體涉及一種陶瓷、單晶硅、 光學(xué)玻璃、硬質(zhì)合金等硬脆性工件的微結(jié)構(gòu)功能表面機(jī)械制造技術(shù)。背景技術(shù)零部件表面加工出微米級空間結(jié)構(gòu)表面，可以產(chǎn)生新的光學(xué)性能、物理性能和 機(jī)械性能。例如，液晶顯示器的導(dǎo)光微V槽基板，光伏硅晶片減反射微結(jié)構(gòu)功能表面， 筆記本電腦的散熱功能表面通道等。目前，微細(xì)加工的成熟技術(shù)是采用光、電子束、離 子束、化學(xué)腐蝕等微細(xì)加工方法。因為這些方法采用的非接觸加工原理，所以加工效率 極低以及生產(chǎn)周期較長長，且...
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