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技術(shù)編號(hào)：3364762

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本發(fā)明涉及一種，特別涉及一種以真空鍍膜的方式形成的。背景技術(shù)真空鍍膜工藝在工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，其中，TiN薄膜鍍覆在刀具或模具表面能大幅提高刀具和模具的使用壽命。然而，隨著金屬切削加工朝高切削速度、高進(jìn)給速度、 高加工溫度、高可靠性、長(zhǎng)壽命、高精度和良好的切削控制性方面發(fā)展，對(duì)表面涂層的性能提出了更高的要求。傳統(tǒng)的TiN涂層在硬度、韌性及高溫抗氧化性等方面已經(jīng)不能滿足要求。ZrN薄膜由于其硬度與韌性均優(yōu)于TiN薄膜而受到人們的廣泛關(guān)注。但單一的ZrN ...
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