技術(shù)編號(hào):3362651
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明以環(huán)氧樹(shù)脂固化物作為用于化學(xué)機(jī)械拋光的新型固著磨料拋光墊的聚合物基體材料。本發(fā)明是在100份的環(huán)氧樹(shù)脂中加入80~300份固化劑,100~200份環(huán)氧活性稀釋劑,200~300份磨料(顆粒直徑10~1000nm),均勻混合、真空脫泡后,置于特定的模具,并按照一定的工藝條件固化從而制得的。本發(fā)明制得的用于化學(xué)機(jī)械拋光的新型固著磨料拋光墊具有耐磨性好、形變小、材料去除率高、彈性模量和剪切模量高的特點(diǎn),它彌補(bǔ)了國(guó)內(nèi)外使用環(huán)氧樹(shù)脂固化物作為聚合物基體材料來(lái)制...
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