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技術(shù)編號：3361790

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本發(fā)明涉及一種外延片制備方法，尤其涉及一種在P型襯底上制備N型外延層的 反型外延片的制備方法。背景技術(shù)反型外延片是指在P型襯底上制備N型外延層的外延片。目前，生產(chǎn)中采用的制備 工藝為當(dāng)爐溫達到800 95(TC用機械手將硅片放置在爐內(nèi)，通以氫氣，氫氣流量一直保 持在20 80L/min的范圍內(nèi)，然后升溫至1140 1150°C，烘烤后通以氯化氫，進行氣相拋 光；關(guān)閉氯化氫，通以三氯氫硅生產(chǎn)本征阻擋層；關(guān)閉三氯氫硅，用氫氣去除凈爐內(nèi)的雜質(zhì) 氣體后再次通入三氯...
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