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蒸鍍ito的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3361787

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本發(fā)明涉及發(fā)光二極管芯片制造領(lǐng)域,特別涉及一種蒸鍍ITO的方法。 背景技術(shù)發(fā)光二極管(LED)具有體積小、省電、綠色環(huán)保等優(yōu)勢(shì),已被廣泛使用于顯示器背光源模塊、通訊、計(jì)算機(jī)、交通標(biāo)志及玩具等消費(fèi)市場(chǎng),但目前因?yàn)榱炼炔粔虻膯?wèn)題,尚未能廣泛使用于照明市場(chǎng)。為了解決發(fā)光二極管亮度不夠的問(wèn)題,業(yè)內(nèi)人士都在不斷地尋找各種提高亮度的方法。ITO是英文hdium Tin Oxides的縮寫(xiě),意思是氧化銦錫。與其它透明的半導(dǎo)體導(dǎo)電薄膜相比,ITO具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)...
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