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對(duì)用于pvd方法的襯底進(jìn)行預(yù)處理的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3360783

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本發(fā)明涉及一種用于對(duì)襯底進(jìn)行預(yù)處理的方法,如該預(yù)處理通??梢栽诮柚鶳VD 對(duì)襯底進(jìn)行涂層之前執(zhí)行的一樣。背景技術(shù)陰極火花蒸鍍(Funkenverdampfung)是近年來(lái)建立起來(lái)的方法,該方法用于對(duì)工具和部件涂層并且利用該方法既離析出廣泛多種的金屬層又離析出金屬氮化物、金屬碳化物以及金屬碳氮化物。在該方法中,靶是火花放電的陰極,該火花放電在低電壓和高電流時(shí)運(yùn)行并且利用該火花放電對(duì)靶(陰極)材料蒸鍍。作為用于運(yùn)行火花放電的最簡(jiǎn)單和最便宜的電源,大多使用直流電...
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