技術(shù)編號(hào)：3360569
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于通過物理氣相沉積(PVD)技術(shù)來(lái)沉積材料的設(shè)備及方法。更具體 地說，本發(fā)明涉及用于通過PVD來(lái)在一種基體、尤其是納米層涂層上沉積一個(gè)或多個(gè)涂覆 層的設(shè)備和方法，其中，這些涂層展現(xiàn)了改進(jìn)的涂層周期性和/或這些涂覆層之間清晰突 出的邊界。背景技術(shù)迄今為止，PVD技術(shù)對(duì)于在一種基體上沉積一個(gè)或多個(gè)涂覆層一直是有用的。一個(gè) 示例性種類的基體是這樣一種基體當(dāng)涂覆有一種適當(dāng)?shù)耐扛膊牧蠒r(shí)，它作為一種切削工 具在金屬切削(或其他的材料去除)應(yīng)用中是有用的，這...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。